納米壓印保護ACP技術可大限度保護模板和基板，特別對 于象磷化銦（InP）等極易碎模板和基板給予大限度。

全晶圓片均可對其校正補償從而獲得的壓印均 勻性， ACP消除了基板與模版之間側向偏移，有效地延長了模版使用 壽命。通過微小熱容設計可獲得快速的熱壓印周期，終得到快速的工 藝循環。